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石英坩堝使用中常見問題和解決方法

放大字體  縮小字體 發布日期:2012-08-02  瀏覽次數:2608
核心提示:在Cz法單晶的制備中,石英坩堝作為熔硅的載體有著其不可替代的作用。了解石英坩堝的特性和掌握正確的方法對所有從事單晶制備的每一位從業人員來說都是非常重要的。
 引言
在Cz法單晶的制備中,石英坩堝作為熔硅的載體有著其不可替代的作用。了解石英坩堝的特性和掌握正確的方法對所有從事單晶制備的每一位從業人員來說都是非常重要的。
 石英坩堝的特性(主要介紹熱學性能和結晶性能)
1. 熱學性能:
 熱學性能主要體現在以下幾個方面
(1)    它的形變點為1075℃
(2)    它的軟化點為1730℃
(3)    其最高連續使用溫度為1100℃,短時間內為1450℃。
2. 結晶性能
1) 石英坩堝在高溫下具有趨向變成二氧化硅的晶體(方石英)。這個過程稱為再結晶,也稱為“失透”,通常也稱為“析晶”。
2) 析晶通常發生在石英坩堝的表層,按照中國石英玻璃行業標準規定,半導體工業用石英玻璃在1400℃±5℃下保溫6小時,其析晶層的平均厚度應為﹤100µm 。

  
 
 
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