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太陽能多晶硅鑄錠用熔融石英坩堝氮化硅涂層的制備

放大字體  縮小字體 發布日期:2012-09-05  瀏覽次數:2978
核心提示:熔融石英坩堝是生產太陽能多晶硅鑄錠的必要容器,為脫模方便,需在其內表面噴涂一層氮化硅. 采用高純氮化硅粉在國產石英坩堝上噴涂,研究噴涂氮化硅漿液時石英基底溫度和涂膜厚度對石英坩堝氮化硅涂層結合強度的影響.
  
 
 
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